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環氧地坪,環氧防靜電地坪,環氧自流平地坪,環氧砂漿地坪,GMP地坪,地坪漆關于國際標準化組織對潔凈室進行測試項目的建議
表1.1 ISO 14633-3建議對潔凈設施進行的測試項目
建議的測試項目 | ISO標準中出處 |
| 潔凈室和潔凈室裝置的懸浮粒子等級計數與測量 | 14644-1 與 14644-2 |
| 懸浮微粒子計數 | 14644-1 |
| 懸浮宏粒子計數 | 14644-1 |
| 氣流測試 | 14644-1與 14644-2 |
| 壓差測試 | 14644-1與 14644-2 |
| 過濾器系統安裝后檢漏 | 14644-2 |
| 氣流目檢 | 14644-2 |
| 風向測試 |
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| 溫度測試 |
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| 濕度測試 |
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| 靜電與離子發生器測試 |
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| 粒子沉積測試 |
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| 自凈測試 | 14664-2 |
| 隔離檢漏 | 14644-1與 14644-2 |
| 注:這里列出的建議測試不是按重要性排列的。可根據具體文件的要求或客戶與供應商的一致意見確定測試排序。 |
1.3.2 NEBB所規定的檢測項目
美國國家環境平衡局NEBB(National Environmental Balancing Bureau)關于潔凈室性能測試(CPT―Cleanroom Performance Testing)所規定的測試項目如下:
1. 氣流速度和均勻性測試(Airflow Velocity and Uniformity Tests)
2. 高效空氣過濾器裝置的檢漏測試(HEPA Filter Installation Leak Tests)
3. 房間塵粒數測試(Room Particle Count Tests)
4. 隔斷壓差(Enclosure Pressurization Tests)
5. 溫、濕度均勻性測試 (Temperature and Humidity Uniformity Tests)
6. 噪音及振動測試 (Sound and Vibration Tests)
7. 照度及均勻性測試 (Light Level and Uniformity Tests)
8. 自凈測試 (Recovery Tests)
9. 電導率測試 (Conductivity Tests)
10. 粒子沉積測試 (Particle Fallout Count Tests)
11. 靜電測試 (Electrostatic Tests)
美國國家環境平衡局實際上是一個創辦于1971年的民營機構,它得到美國暖通制冷空調工程師協會(ASHRAE― American Society of Heating Refrigerating and Air Conditioning Engineers)美國環境科學與技術學會(IEST― Institute of Environmental Science and Technology )北美照明工程協會(IESNA Illuminating Engineering Society of North America)半導體設備與材料學會(SEMI―Semiconductor Equipment and Materials Institute)等眾多美國協會、學會的支持。至2005年底,它在世界上已擁有32個分社和6 百多個持證的檢測團隊。分布在美國各州、加拿大、歐洲和德國、英國、丹麥、法國、澳大利亞、以色列、約旦及亞洲的韓國、新加坡、香港、馬來西亞、泰國等地。 30多年來,NEBB以其高質量、高標準的檢測和認證模式贏得了建設單位、承包商、工程技術人員的信賴,使其業務范圍和規模才有可能從美國本土,擴展到海外,成為了暖通空調、潔凈室等相關專業一個著名的認證品牌。如同在藥品、保健品等行業的美國食品藥品管理局(FDA)的認證在全球各地暢通無阻那樣,被世界大多數國家認可。某個潔凈室如果獲得了NEBB的認證從某種意義上說,在該潔凈室生產的產品就得到了進入美國或其他認同NEBB認證的國家市場的基本條件。這也正是為什么不少企業為進入,越來越受到建設方重視的認證行業,因此重金委派技術人員前往美國鳳凰城NEBB培訓基地,接受培訓和考試,以期得到NEBB的認證資質。
在2005年9月國際污染控制學會聯盟(ICCCS―International Confederation of Contamination Control)莫斯科會議上英國等加盟國提出了開展潔凈室行業國際認證培訓的建議,大會通過了將ICCCS工作中心轉入培訓教育工作的提案。接著2006年4月在荷蘭阿姆斯特丹召開了ICCCS教育工作會議,會議決議建立國際培訓體系,培訓教材各國自編自選。2006年9月舉辦第十八屆ICCCS北京 國際污染控制學會論壇的同時,ICCCS各加盟國代表討論通過了國際認證培訓的計劃,成立了潔凈室國際認證委員會(ICCB―International Cleanroom Certification Board),并于2007年3月在法國巴黎召開的ICCCS成員組織工作會議和ICCB工作會議上作出決議,認可蘇格蘭、中國擬定的“潔凈室工程師培訓體系”。并根據德國代表提議,著手起草ISO 14644-10“潔凈室技術培訓標準”。中國電子學會潔凈技術分會(CCCS―Chinese Contamination Control Society)正與ICCCS密切協作逐步開展這方面的工作。潔凈室的國際化認證,雖然還有一段路程要走,但ICCB的成立將加速此進程,這是世界經濟一體化發展的必然趨勢。
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